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高純氦氣根據(jù)GB/T 4844-2011具體指標(biāo)

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(氧氣(O2)+氬(Ar))含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <1
 
氮?dú)猓∟2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <2
 
一氧化碳(CO)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <0.5
 
二氧化碳(CO2)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <0.5
 
甲烷(CH4)含量(體積分?jǐn)?shù))/10^-6  <0.5
 
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